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DTSTART;VALUE=DATE:20100415T000000DTEND;VALUE=DATE:20100415T000000DTSTAMP:20100412T021200ZUID:cotosaga.com/event/702084CLASS:PUBLIC
CREATED:20100412T021200ZDESCRIPTION:レジスト・リソグラフィの基礎とトラブル対応のノウハウ ～個別相談付～ LAST-MODIFIED:20100412T021200ZLOCATION:東京都新宿区西新宿二丁目7SEQUENCE:0
SUMMARY:レジスト・リソグラフィの基礎とトラブル対応のノウハウ ～個別相談付～ TRANSP:OPAQUE
URL:http://18.179.212.46/event/702084DESCRIPTION:■講師の言葉<br />
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現在、フォトレジストは、産業上での利用範囲も広く、品質に与える影響も高くなっています。本講座では、これからレジスト材料を使用する方々、レジストリソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト膜の付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決アプローチを丁寧に講習します。<br />
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また、研究開発・トラブルフォローと･･･END:VEVENT
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