BEGIN:VCALENDAR PRODID:-//cotosaga.com//cotosaga//EN VERSION:2.0 CALSCALE:GREGORIAN METHOD:PUBLISH X-WR-CALNAME: X-WR-TIMEZONE:Asia/Tokyo X-WR-RELCALID:"" BEGIN:VTIMEZONE TZID:Japan BEGIN:STANDARD DTSTART:19390101T000000 TZOFFSETFROM:+0900 TZOFFSETTO:+0900 TZNAME:JST END:STANDARD END:VTIMEZONE BEGIN:VEVENT DTSTART;VALUE=DATE:20100524T000000DTEND;VALUE=DATE:20100524T000000DTSTAMP:20100412T065426ZUID:cotosaga.com/event/702159CLASS:PUBLIC CREATED:20100412T065426ZDESCRIPTION:ドライエッチングの基礎と密度・速度・圧力の最適化および応用技術 LAST-MODIFIED:20100412T065426ZLOCATION:東京都江東区青海二丁目45SEQUENCE:0 SUMMARY:ドライエッチングの基礎と密度・速度・圧力の最適化および応用技術 TRANSP:OPAQUE URL:http://18.179.212.46/event/702159DESCRIPTION:【講師のことば】

これからエッチングを始めようとする人、始めて2~3年でエッチングプラズマを理解したい人向けに基礎的な理解を深める講義を行う。 また、現在問題となっている、ArFレジストのLER、LWRおよびporous Low-kエッチングについてどう対処するかについて 一つの提案を行う。


【プログラム】

1.ドライエッチングとは?
2.エッチングの基礎
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