レジスト・リソグラフィの基礎とトラブル対応のノウハウ ～個別相談付～
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■講師の言葉
現在、フォトレジストは、産業上での利用範囲も広く、品質に与える影響も高くなっています。本講座では、これからレジスト材料を使用する方々、レジストリソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト膜の付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決アプローチを丁寧に講習します。 また、研究開発・トラブルフォローと･･･
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