ドライエッチングの基礎と密度・速度・圧力の最適化および応用技術
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【講師のことば】
これからエッチングを始めようとする人、始めて２～３年でエッチングプラズマを理解したい人向けに基礎的な理解を深める講義を行う。 また、現在問題となっている、ArFレジストのLER、LWRおよびporous Low-kエッチングについてどう対処するかについて 一つの提案を行う。 【プログラム】 １．ドライエッチングとは？ ２．エッチングの基礎 2･･･
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