高分子における化学発光（ケミルミネッセンス）の基礎と応用事例

【講師のことば】

これからエッチングを始めようとする人、始めて２～３年でエッチングプラズマを理解したい人向けに基礎的な理解を深める講義を行う。 また、現在問題となっている、ArFレジストのLER、LWRおよびporous Low-kエッチングについてどう対処するかについて 一つの提案を行う。


【プログラム】

１. 高分子における化学発光の歴史と可能性について
２･･･