クリーンルームの清浄化と管理手法

■講義のポイント

・クリーンルームが塵埃を除去できる仕組みは？

・それなのに何故クリーンルームは汚染するのか？

・汚染しないようにどのようにすればいいのか？

・そして、もし汚染したらどうすればいいのか？

そういったクリーンルームの除塵技術のメカニズムおよび簡単に取り込めるノウハウを、わかりやすく、具体例をあげて解説いたします。

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